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• 基板传送采用全新的卷绕控制技术,可根据不同的材料和尺寸实现稳定运行。
• 根据蒸镀的目的,可以选择匹配的蒸发源(感应加热方法,电阻加热方法,EB加热方法)。
• 各种预处理/后处理的机制达到良好的工艺条件。
• 可提供能够在线测量的穿透式膜厚监视仪,涡流式膜厚监视仪,电阻值监视仪等。
• 包装材料,透明气体屏障,金银线
• 电容器
• 磁带
• 光学膜