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  2021-12-28
  超过800个modules的销售实绩 GaAs、InP、GaN、SiC等化合物半导体 SAW/BAW、功率器件等的金属布线 Piezo-MEMS的PZT和AlScN等压电膜
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  2021-11-25
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  2021-09-20
  第23届中国国际光电博览会于9月16日至18日在深圳国际会展中心圆满举办。展会分为信息通信、激光、红外、紫外、精密光学、镜头及模组、光传感等版块，可以一站式了解光电产业
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• ULVAC面向5G通信器件的亚纳米平坦化用离子修复设备"IM-2000"开始销售
  2021-08-23
  ULVAC离子修复设备是面向5G高频滤波器的，基于在SAW和BAW器件上形成的氧化硅膜和氮化硅膜的薄膜厚度数据，在亚纳米范围内控制薄膜厚度，实现±1.0nm以下的平坦度。
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